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安晟1200℃RTP滑動(dòng)式快速退火爐爐管兩端安裝真空法蘭,真空度用分子泵可以到10-5Torr,機(jī)械泵可到10-3Torr。爐底安裝一對(duì)滑軌,可用手動(dòng)滑動(dòng)。加熱和冷卻速率最大可達(dá)100°C/m。為取得較快加熱,可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度,然后移動(dòng)爐子到樣品位置。為獲得較快冷卻,可在樣品加熱后移動(dòng)爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達(dá)到10°C/s,是低成本快速熱處理的理想爐子。 可選擇單設(shè)定點(diǎn)或30段可編程控制器。節(jié)能型的陶瓷纖維材料和雙層結(jié)構(gòu),可將外表溫度降到常溫。均溫區(qū)長(zhǎng),操作簡(jiǎn)便,密封可靠,綜合性能指標(biāo)較高,處于國(guó)內(nèi)*水平。 爐管可選擇配置耐熱鋼、石英玻璃、陶瓷管等材料。
安晟1200℃RTP滑動(dòng)式快速退火爐適用范圍:可在真空不同氣氛空氣不同環(huán)境下,對(duì)樣品進(jìn)行快速熱處理,主要應(yīng)用于院校實(shí)驗(yàn)室、工礦企業(yè)實(shí)驗(yàn)室,如:薄膜沉積,不同材料快速退火、硅化、擴(kuò)散、晶化和致密化等。
產(chǎn)品特點(diǎn):
多晶纖維爐膛,節(jié)能耐腐蝕
重量輕、升溫速度快、節(jié)能、省時(shí)、耐高溫、耐腐蝕、保溫性好,能滿足何種快速燒結(jié)的要求。
爐管采用高純度石英玻璃材料工藝加工
具有極低的熱膨脹系數(shù)、耐高溫、化學(xué)穩(wěn)定性好、電絕緣性好。
雙層內(nèi)膽爐殼,配有風(fēng)冷系統(tǒng),快速升降溫
整個(gè)爐體采用雙層內(nèi)膽式結(jié)構(gòu),中間有氣隙隔離,即使?fàn)t膛溫度高達(dá)1200℃,爐體表面仍然可以安全觸摸無(wú)滾燙感覺。
法蘭采用雙環(huán)密封技術(shù)
有效的提高了法蘭的氣氛性,法蘭上裝有多種接頭,可接電阻真空計(jì)、真空波紋管并能做成容易撤卸的鉸鏈?zhǔn)健?/p>
內(nèi)嵌式合金電熱絲,升溫快,壽命長(zhǎng)
加熱元件采用優(yōu)質(zhì)內(nèi)嵌式合金電熱絲,發(fā)熱效率高、耐高溫、抗氧化、耐腐蝕、升溫快、壽命長(zhǎng)、高溫變形小、安裝維修方便,使用壽命長(zhǎng)。
微電腦PID控制器,操作簡(jiǎn)便
操作簡(jiǎn)便,控溫精確、可靠、安全多段可編程控制,可以簡(jiǎn)化復(fù)雜的試驗(yàn)過程,真正實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制和運(yùn)行。
爐體配有:輸出電壓和輸出電流監(jiān)測(cè)表,爐子加熱狀態(tài)一目了然。
最高溫度 | 1200℃(最高溫度可達(dá)1700℃) |
溫區(qū)長(zhǎng)度 | 440mm(可根據(jù)需求定制) |
恒溫區(qū) | 260mm |
爐管尺寸 | Φ60*1500mm |
溫控方式 | 30段PID微電腦可編程自動(dòng)控制 |
控溫精度 | ± 1℃ |
溫控保護(hù) | 具有超溫及斷偶報(bào)警功能 |
加熱速率 | 0~20 ℃ / 分 |
加熱元件 | 合金加熱絲 |
工作電壓 | AC 220V 單項(xiàng) 50 Hz |
最大功率 | 3KW |
凈重 | 80KG |
爐膛材料 | 采用多晶陶瓷纖維,不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場(chǎng)均衡,抗熱漲冷縮能力強(qiáng) |
法蘭接頭 | 標(biāo)配配有兩個(gè)不銹鋼真空法蘭,已安裝機(jī)械壓力表和不銹鋼截止閥 |
密封系統(tǒng) | 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸,氣密性好、可保證12小時(shí)壓力表指針不偏轉(zhuǎn) |
滑軌尺寸 | 鍍Cr厚鋼板做的雙向滑軌滑動(dòng)長(zhǎng)度:1200mm |
測(cè)溫元件 | K型熱電偶測(cè)溫 |
爐管材質(zhì) | 可選氣煉石英爐管、剛玉爐管 |
氣 密 性 | 4.03×10-3Pa |
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